02.4 带 MONOVAT 的大型传输阀

在所有条件下都可靠

02.4 带有 MONOVAT 的大型传输阀的开发特别适用于高真空条件下**材料气相沉积系统的特殊要求。02.4 专为高循环生产系统而设计，结合了出色的快速运动时间和对限制标准阀门性能的过程相关沉积物的抵抗力。02.4 设计用于在次的服务检查之前连续运行 100 万次循环。

由于正常运行时间长和性能可靠是 02.4 的标志，因此将维护要求降至低。02.4 使用的特殊 MONOVAT 密封技术允许闸门的无冲击打开和关闭运动，大限度地减少颗粒激活并减少密封磨损。此外，密封机构的非常紧凑的设计也使得整个阀门非常紧凑，安装尺寸小。

02.4 系列已经在**数百个显示和光伏生产系统中在各种工艺条件下运行，在各个方面都证明了其出色的性能。

带有 MOOVAT 的 02.4 大型传输阀与所有增值传输阀解决方案一样，根据客户的具体要求量身定制。这些定制的元素包括用于脉冲驱动的电磁阀、特殊的表面处理（如硬质阳氧化或镀镍铝）、其他密封材料、闸门接地等。

带 MONOVAT 的 02.4 大型传输阀的主要特点

特征：

紧凑的设计和小的安装尺寸

无冲击闸门运动

对工艺相关沉积物的抵抗力

好处：

运营成本低

快速循环时间

高正常运行时间，低维护

技术数据

尺寸   标准：50× 500 mm 至 150× 1600 mm（1.97" × 19.69" 至 5.91" × 62.99"） 可

应要求提供特殊尺寸

执行器 气动 双作用

机身材质   铝

馈通   带中间泵送的轴馈通

泄漏率 阀体、阀座 < 1 × 10 -9毫巴 ls -1

浇口上的压差 开/关方向 ≤ 1 巴

开启压差   ≤ 5 毫巴

循环直到次服务   百万

关闭或开放时间   ≤ 1.5 s（100 mm 开口高度）

温度 阀体、闸板

执行器、位置指示器 ≤ 120°C

≤ 60°C

温差体/门

大号 ≤ 40°C

≤ 25°C

材料 阀体、闸板

执行器轴

压差片 EN AW-5083 (3.3547)

AISI 304 (1.4301) 镀硬铬

AISI 304 (1.4301)

密封 闸门、法兰、馈通 FKM (Viton®)

安装位置   执行器向上、向下或横向

位置指示器 电压 10–30 VDC PNP（NPN 可选）