05.2 带 L-VAT 的 HV 转移嵌件

腐蚀性过程环境的可靠隔离

采用 L-VAT 技术的 05.2 传输阀嵌件特别适用于蚀刻或 CVD 等腐蚀性工艺。L-VAT 技术通过单轴气动执行器提供门的 J 运动。在 J 运动中，闸板垂直移动到关闭位置 - 与阀体没有任何接触 - 在后的运动中，它被水平推到闸座，密封件以固定的力接触闸座，相关到连接的气压。     

为了进一步减少颗粒的产生和活化，闸门装有硫化密封件。与标准 O 形环密封相比，这是一种高度可靠且的密封解决方案，尽管标准 O 形环密封可作为选项提供。轴馈通采用高度的金属焊接波纹管密封。

在断电的情况下，05.2 可以通过可选的止回阀气动锁定在关闭和打开位置。

带有 L-VAT 的 05.2 传输阀设计用于延长免维护操作（≤ 300 万次循环，直到使用）。

05.2 系列已安装在各种半导体生产工艺中的数百个要求严苛的应用中，证明了其出色的可靠性。05.2 系列凭借坚固的设计以及减少且易于维护的特点，在各个方面都令人信服。

关闭

光学闭合

打开

带有 L-VAT 的 05.2 传输阀嵌件始终根据客户要求量身定制。然而，预定义了四种基本设计类型：两种具有不同后侧开口的阀门类型和两种带有内腔或外腔阀座的插入类型。

阀体材料选项为铝、硬阳氧化或镀镍。闸板和阀盖密封件采用 FKM 或 FFKM。可根据要求提供其他密封材料。

带 L-VAT 的 05.2 传输阀插件的主要特点

特征：

在腐蚀性工艺条件下可靠运行

平稳、低冲击运动

L-VAT 技术可避免颗粒生成和激活

波纹管密封轴馈通

延长免维护周期

好处：

高正常运行时间/不受限制的性能

快速运行

运营成本低

技术数据

尺寸   46 x 236 毫米至 50 x 336 毫米（1.81" x 9.29" 至 1.97" 至 13.23"）

执行器 气动 双作用带位置指示器

机身材质   铝

馈通   波纹管

泄漏率 阀体 < 1 × 10 -9 毫巴 ls - 1

  阀座 < 1 × 10 - 9 毫巴 ls - 1

压力范围   1 × 10 -9  mbar 至 1.2 bar (abs)

不同的压力 在门口 ≤ 1.2 巴

  开幕时 ≤ 30 毫巴

循环直到次服务   ≥ 3 百万

温度 阀体 ≤ 50 °C - ≤ 120 °C

  门 ≤ 50 °C - ≤ 120 °C

加热和冷却速率   ≤ 40 °C h -1

温差座/门   < 40°C

材料 阀体、闸板、检修盖 EN AW-6082 (3.2315)、EN AW-6061 (3.3211)

  轴、波纹管端件 AISI 316L (1.4435)

  波纹管 AISI 633 (AM 350)

密封 阀帽 FKM (Viton®)

  门 FKM (Viton®)

安装位置   执行器下降

脉冲电磁阀   24 VDC，2.5 W（其他应要求提供）

位置指示器：接触评级 电压 ≤ 50 VDC

  当前的 ≤ 250 毫安

  力量 ≤ 10 瓦

  联系 9 针小型 D

压缩空气连接 不带电磁阀 内螺纹 ⅛“ ISO/NPT

  带电磁阀 内螺纹 M5